DSP-STC2258型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀
一、概述
DSP-STC2258型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā凡⒖济绹?guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)等部分組成。
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入。具有零位、滿度自校功能、電壓電流全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程、測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能,大分類10類。
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配專用探頭,也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
測(cè)試臺(tái)選配:一般四探針?lè)y(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。二探針?lè)y(cè)試電阻率測(cè)試選SZT-K型測(cè)試臺(tái),也可選配SZT-D型測(cè)試臺(tái)以測(cè)試半導(dǎo)體粉末電阻率,選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)測(cè)試橡塑材料電阻率。詳見(jiàn)《四探針儀器、探頭和測(cè)試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考》
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
二、基本技術(shù)參數(shù)
1.測(cè)量范圍、分辨率(括號(hào)內(nèi)為可向下拓展1個(gè)數(shù)量級(jí))
電阻:10.0×10-6~200.0×103Ω,分辨率:1.0×10-6~0.1×103Ω
(1.0×10-6~20.00×103Ω,分辨率:0.1×10-6~0.01×103Ω)
電阻率:10.0×10-6~200.0×103Ω-cm,分辨率:1.0×10-6~0.1×103Ω-cm
(1.0×10-6~20.00×103Ω-cm,分辨率:0.1×10-6~0.01×103Ω-cm)
方塊電阻:50.0×10-6~1.0×106Ω/□,分辨率5.0×10-6~0.5×103Ω/□
(5.0×10-6~100.0×103Ω/□,分辨率0.5×10-6~0.1×103Ω/□)
2.材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)
直徑:SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式Φ15~130mm,手持方式不限。
SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限。
長(zhǎng)(高)度:測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式H≤100mm,手持方式不限。
測(cè)量方位:軸向、徑向均可。
3.量程劃分及誤差等級(jí)
滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 |
常規(guī)量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | --- | ||||
大拓展量程 | --- | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB | ±1.0%FSB ±4LSB | ||||
4.工作電源:220V±10%,f=50Hz±4%,PW≤5W
5.外形尺寸:245mm(長(zhǎng))×220mm(寬)×95mm(高)
凈重:≤1.5~2.0kg